Nauwkeurige nanosensor maakt productie kleinere chips mogelijk

Onderzoek & Wetenschap 5/02/2020 14:41:59

TU Eindhoven bouwde een sensor met een buitengewone nauwkeurigheid die kleiner is dan de grootte van een atoom, om ASML in staat te stellen nog kleinere chips te maken.

Lees hieronder verder   
Verwant

VIB bouwt innovatieve bioincubator en nieuw hoofdkantoor

Wereldprimeur: DNA vouwt zich op in zigzag structuur

Wereldprimeur: cellen hebben ‘corvee’ binnen elektrische samenwerking

TU Eindhoven onderzoekt innovatieve argonmotor en 2D-nanomaterialen

Ontrafelen samenstelling van complexe moleculaire systemen

Eerste tewaterlating van nieuw onderzoeksschip RV Belgica

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

Cursus Spoortechnieken - bijzondere projecten

Het Ingenieurshuis - Antwerpen

van 2/04/2020 tot 11/06/2020

Migratie van EPLAN 5 naar EPLAN Electric P8

EPLAN Webinar

vrijdag 17 april 2020

Global Manufacturing and Industrialisation Summit

Messegelände - Hannover

van 20/04/2020 tot 21/04/2020

Machinery safety awareness training

Pilz Academy - Herentals

dinsdag 21 april 2020

PNOZmulti programming

Pilz Academy - Gent

woensdag 22 april 2020

Cursus: stoom in theorie en praktijk

Armstrong - Herstal

vrijdag 24 april 2020

Keuze van de redactie

(25/3) Nieuw Antwerps-Duits pijpleidingtraject ecologisch en economisch goede zaak

(24/3) DEME tekent MoU voor bouw Japanse offshore windprojecten

(17/3) Vorig jaar werd recordaantal octrooien aangevraagd

(16/3) VIB boekt vooruitgang in onderzoek naar geneesmiddel tegen coronavirus

(12/3) UAntwerpen leidt Europees onderzoek naar Corona

(11/3) Microgenerator van nanodraden vervangt batterij

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Met de nieuwste machines van ASML zijn computerchips te maken met details die niet groter zijn dan een paar nanometers.

De elektrische circuits op zo’n chip worden gemaakt door middel van lithografie: hierbij wordt een patroon geëtst op een schijf van silicium met behulp van ultraviolet licht. Omdat voor een chip meerdere van die patronen over elkaar gelegd worden, luistert de positionering van de siliciumschijf, ofwel wafer, erg nauw.

“Die wafers zijn best stijf, maar doordat ze met grote snelheid worden bewogen, vervormen ze door de g-krachten toch een beetje," aldus promovendus Stefanos Andreou. "Als we die vervorming kunnen meten, kan ASML dit compenseren om zo nog kleinere chips te maken.”

De gedachte achter de nieuwe supernauwkeurige sensor is dat afwijkingen in de frequentie van laserlicht bijzonder nauwkeurig te meten zijn: een principe dat wordt toegepast in zogeheten Fibre Bragg Gratings. Dit zijn een soort glasvezels die zodanig zijn bewerkt dat ze ondoorzichtig zijn voor een heel specifieke kleur licht. Deze zogeheten resonantiefrequentie is afhankelijk van de mate waarin de vezel wordt uitgerekt.

Daardoor kan zo’n Fibre Bragg Grating (FBG), aangebracht op de bewegende onderdelen in de chipmachine, gebruikt worden als maat voor de vervorming van de wafer.

Andreou testte een meetsysteem op basis van zo’n FBG-sensor in het lab. “In de praktijk zou ASML tientallen van zulke sensors nodig hebben, maar dat is geen probleem: ze zijn goedkoop te produceren en wegen bijna niets.”

Hij benadrukt dat de behaalde nauwkeurigheid van vijf nanometer per meter betekent dat in de sensor zelf - die een paar centimeter lang is - een vervorming van enkele tientallen picometers is te meten.

Hiervoor zijn geavanceerde stabilisatietechnieken nodig om ervoor te zorgen dat het gebruikte laserlicht exact de juiste frequentie heeft.

Om temperatuurschommelingen te compenseren, splitste Andreou het laserlicht dat voor de meting wordt gebruikt in twee componenten: “Voor elk van die componenten, of polarisatietoestanden, heeft de fiber een verschillende temperatuurafhankelijkheid van de resonantiefrequentie.”

Dat maakt het mogelijk om het effect van de temperatuur weg te strepen en heel nauwkeurig de vervorming te bepalen. Zelfs zo’n tien keer nauwkeuriger dan voorheen mogelijk was. << (Lydia Heida) (foto: ASML)

Abonneer op onze nieuwsbrief

Reageer of publiceer aanvullende informatie
Mis ook dit niet...

Met waterstof de lucht in voor zero-emission - column

De ‘Green Deal’ heeft ook bij technologen in de lucht- en ruimtevaart al heel wat stof doen opwaaien. Is luchtvaart zonder emissie mogelijk? Europa legt de lat erg hoog.

Guy Verstraeten nieuwe directeur ICS-divisie van SPIE

Bruno Borremans, die deze functie twee jaar lang uitoefende, gaf op 16 maart laatstleden de fakkel door aan Guy Verstraeten als directeur van de divisie ICS bij SPIE Belgium.

Explosieve toename cyberzwendel rond Coronavirus

SophosLabs, het onderzoekslab van Sophos, concludeert dat door het gebruik van ‘COVID-19’ en ‘coronavirus’ in domeinnamen het aantal spam, phishing-aanvallen en malware omhoog is geschoten.

Hannover Messe 2020 geannuleerd wegens coronavirus

Vandaag viel in onze mailbox het bericht binnen dat de corona-pandemie geleid heeft tot de annulering van de Hannover Messe. We willen de preview die we hierover reeds maakten niet weerhouden.

Investeringsronde van 14 miljoen euro voor miDiagnostics

Imec spin-off miDiagnostics, die silicium-gebaseerde chiptechnologie gebruikt om snelle en betrouwbare testen rechtstreeks naar patiënt en arts te brengen, haalde onlangs 14 miljoen euro op.

Corona als bron van inspiratie

Er gaat heel wat design en engineering om Covid-19: 3D-prints van ventielen, gelaatsschermen, beademingstoestellen, ... Vaak betreft het een fablab-gebeuren en gratis creativiteit.

COVID-19 houdt bouw SeaMade offshore-windpark nog niet tegen

Gisteren zijn de eerste 6 torendelen voor het SeaMade offshore windpark aangekomen in de haven van Oostende. Deze onderdelen werden geproduceerd in Noord-Spanje.

Building Information Modeling versus Building Information Management

De toenemende digitalisering is een feit. De bouwwereld wordt overspoeld met talloze initiatieven die deze digitalisering ondersteunen. BIM is één van de belangrijkste voor de bouwwereld.

Lybover investeert extra in 3D-scanning

De Lybover groep zet volop in op de technologie van 3D-scanning met extra investeringen. De uitgebreide ervaring van van 80 engineers in engineering, project management, productie en montage in combinatie met 3D-scanning en engineering heeft een enorme impact op tijd, kost en veiligheid. 3D-scans vormen de basis voor de engineering van hun projecten.

Partners