Nauwkeurige nanosensor maakt productie kleinere chips mogelijk

Onderzoek & Wetenschap 5/02/2020 14:41:59

TU Eindhoven bouwde een sensor met een buitengewone nauwkeurigheid die kleiner is dan de grootte van een atoom, om ASML in staat te stellen nog kleinere chips te maken.

Lees hieronder verder   
Verwant

Onderzoekers bouwen sensor van slechts 11 atomen

Wereldprimeur: metaoppervlaklaser produceert eerste superchirale licht

Oprichting onderzoeksfaciliteit om micro-organismen beter te benutten

Nieuw type lens op nanoschaal met aan/uitschakelaar

Micro-organismen overleven hoge temperaturen door samenwerking

Nieuwe impuls voor assemblage fotonische chips

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

EPLAN Online Forum 2020

Virtuele kennisdeling

woensdag 3 juni 2020

3D-printing in Business

Engie Fabricom - Zwijndrecht

donderdag 4 juni 2020

Artificial Intelligence

IMF Academy Haarlem (NL)

van 6/06/2020 tot 23/06/2020

Seanergy 2020

Nantes (FR)

van 10/06/2020 tot 12/06/2020

Contract Management (IACCM)

IMF Academy (centraal Nederland)

van 11/06/2020 tot 18/06/2020

METAV Web Sessions: innovation

online

van 15/06/2020 tot 19/06/2020

Keuze van de redactie

(28/5) CTG lanceert Europese GDPR-stresstest

(27/5) Worden natrium-ion batterijen de toekomst?

(25/5) 75 miljoen euro Europese steun voor emissie­verlagingen ArcelorMittal

(25/5) Wereldprimeur: metaoppervlaklaser produceert eerste superchirale licht

(19/5) UAntwerpen maakt nieuwe database voor klimaatverandering op bodemniveau

(19/5) Logistieke sites duurzamer door smart microgrid-technologie

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Met de nieuwste machines van ASML zijn computerchips te maken met details die niet groter zijn dan een paar nanometers.

De elektrische circuits op zo’n chip worden gemaakt door middel van lithografie: hierbij wordt een patroon geëtst op een schijf van silicium met behulp van ultraviolet licht. Omdat voor een chip meerdere van die patronen over elkaar gelegd worden, luistert de positionering van de siliciumschijf, ofwel wafer, erg nauw.

“Die wafers zijn best stijf, maar doordat ze met grote snelheid worden bewogen, vervormen ze door de g-krachten toch een beetje," aldus promovendus Stefanos Andreou. "Als we die vervorming kunnen meten, kan ASML dit compenseren om zo nog kleinere chips te maken.”

De gedachte achter de nieuwe supernauwkeurige sensor is dat afwijkingen in de frequentie van laserlicht bijzonder nauwkeurig te meten zijn: een principe dat wordt toegepast in zogeheten Fibre Bragg Gratings. Dit zijn een soort glasvezels die zodanig zijn bewerkt dat ze ondoorzichtig zijn voor een heel specifieke kleur licht. Deze zogeheten resonantiefrequentie is afhankelijk van de mate waarin de vezel wordt uitgerekt.

Daardoor kan zo’n Fibre Bragg Grating (FBG), aangebracht op de bewegende onderdelen in de chipmachine, gebruikt worden als maat voor de vervorming van de wafer.

Andreou testte een meetsysteem op basis van zo’n FBG-sensor in het lab. “In de praktijk zou ASML tientallen van zulke sensors nodig hebben, maar dat is geen probleem: ze zijn goedkoop te produceren en wegen bijna niets.”

Hij benadrukt dat de behaalde nauwkeurigheid van vijf nanometer per meter betekent dat in de sensor zelf - die een paar centimeter lang is - een vervorming van enkele tientallen picometers is te meten.

Hiervoor zijn geavanceerde stabilisatietechnieken nodig om ervoor te zorgen dat het gebruikte laserlicht exact de juiste frequentie heeft.

Om temperatuurschommelingen te compenseren, splitste Andreou het laserlicht dat voor de meting wordt gebruikt in twee componenten: “Voor elk van die componenten, of polarisatietoestanden, heeft de fiber een verschillende temperatuurafhankelijkheid van de resonantiefrequentie.”

Dat maakt het mogelijk om het effect van de temperatuur weg te strepen en heel nauwkeurig de vervorming te bepalen. Zelfs zo’n tien keer nauwkeuriger dan voorheen mogelijk was. << (Lydia Heida) (foto: ASML)

Reageren
Abonneer op onze nieuwsbrief

Mis ook dit niet...

MIVB bestelt extra 128 hybride bussen bij Volvo

Volvo Bus ontving een tweede grote order voor 128 hybride bussen voor de MIVB Brussel. Daarnaast omvat de bestelling een optie voor service en onderhoud van de aandrijflijn en batterijen.

Enorme sluisdeur Pierre Vandammesluis onderweg voor renovatie

Een consortium van Jan De Nul, Algemene Ondernemingen Soetaert, Almex Metaal en Demako zal de sluisdeur in de ICO-terminal in de achterhaven van Zeebrugge grondig renoveren.

Belgian Cycling Factory neemt fietsincubator Bikeville over

Bikeville, de incubator voor bedrijven in de fiets- en mobiliteitsindustrie, wordt overgenomen door Belgian Cycling Factory (BCF), één van de toonaangevende spelers op de fietsmarkt.

75 miljoen euro Europese steun voor emissie­verlagingen ArcelorMittal

De Europese Investerings­bank Bank (EIB) en de Europese Commissie hebben een lening van 75 miljoen euro toegekend aan ArcelorMittal voor de bouw van twee baanbrekende projecten in Gent.

Efficiënt beheer van laagspanningsmotoren via de cloud

In zowat elke industriële omgeving draaien er laagspanningsmotoren: ventilatoren, pompen, … Dat zijn apparaten die u regelmatig moet onderhouden om de goede werking ervan te garanderen.

Wereldprimeur: metaoppervlaklaser produceert eerste superchirale licht

Superchiraal licht is licht met een ultrahoog hoekmoment en een draaiing van het licht rond haar eigen as, waardoor het licht zich voortplant volgens een helix.

Exportkabels SeaMade offshore windparken in dienst genomen

SeaMade laat weten dat de export kabelverbindingen van de offshore windparken Seastar en Mermaid naar het Modular Offshore Grid (MOG) succesvol zijn getest en in dienst zijn genomen.

Wisselend resultaat voor goederenoverslag Antwerpse haven

De totale goederen­overslag van Port of Antwerp kende een daling in april ten gevolge van de coronacrisis, maar steeg in de eerste vier maanden van dit jaar met 0,4% ten opzichte van 2019.

Conductieve geleidbaarheidssensor voor hygiënische toepassingen

De nieuwe conductieve geleidbaarheidssensor LDL100 van ifm onderscheidt razendsnel het verschil tussen verschillende media. Dit dankt hij aan zijn compacte bouwvorm, zonder verdere aanpassingen voor leidingen met kleine diameters, met als belangrijkste voordeel een bijzonder efficiënte besturing van CIP-processen. >>

Partners