Nauwkeurige nanosensor maakt productie kleinere chips mogelijk

Onderzoek & Wetenschap 5/02/2020 14:41:59

TU Eindhoven bouwde een sensor met een buitengewone nauwkeurigheid die kleiner is dan de grootte van een atoom, om ASML in staat te stellen nog kleinere chips te maken.

Lees hieronder verder   
Verwant

8 finalisten strijden nog om Vlaamse PhD Cup 2020

Ontwikkeling slim nanodeeltje tegen antibiotica-resistente infecties

Forcit en Holst Centre ontwikkelen prototype van slim gelaatsmaker

Kunstmatige koraalpoliep reinigt water en transporteert cellen

Vijf laureaten van FWO-Excellentieprijzen bekend gemaakt

Supercontinuum: stap voor stap naar een brede waaier van kleuren

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

Oppervlaktebehandelingen voor kunststoffen

Kortrijk / Online

van 28/09/2020 tot 26/10/2020

The eye of the machine

B&R Webinar

dinsdag 29 september 2020

Grondmechanica (gevorderden)

Het Ingenieurshuis - Antwerpen

van 30/09/2020 tot 8/12/2020

Veilig samenwerken met Cobots

Webinar

donderdag 1 oktober 2020

Houten constructies: ontwikkelingen en rekeninzichten

Live webinar

donderdag 1 oktober 2020

Postgraduaat Corporate Finance

Leuven

van 2/10/2020 tot 6/03/2021

Keuze van de redactie

(24/9) 8 finalisten strijden nog om Vlaamse PhD Cup 2020

(24/9) Caeleste en FAM winnen Leeuw van de Export 2020

(22/9) 10 actiepunten boosten innovatie- en groeipotentieel biotechsector

(21/9) Agoria Solar Team wint Europese Solar Challenge 2020

(17/9) Eye-Robot wint de Belgische James Dyson Award 2020

(15/9) Noors bedrijf investeert 150 miljoen euro in Haven Oostende

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Met de nieuwste machines van ASML zijn computerchips te maken met details die niet groter zijn dan een paar nanometers.

De elektrische circuits op zo’n chip worden gemaakt door middel van lithografie: hierbij wordt een patroon geëtst op een schijf van silicium met behulp van ultraviolet licht. Omdat voor een chip meerdere van die patronen over elkaar gelegd worden, luistert de positionering van de siliciumschijf, ofwel wafer, erg nauw.

“Die wafers zijn best stijf, maar doordat ze met grote snelheid worden bewogen, vervormen ze door de g-krachten toch een beetje," aldus promovendus Stefanos Andreou. "Als we die vervorming kunnen meten, kan ASML dit compenseren om zo nog kleinere chips te maken.”

De gedachte achter de nieuwe supernauwkeurige sensor is dat afwijkingen in de frequentie van laserlicht bijzonder nauwkeurig te meten zijn: een principe dat wordt toegepast in zogeheten Fibre Bragg Gratings. Dit zijn een soort glasvezels die zodanig zijn bewerkt dat ze ondoorzichtig zijn voor een heel specifieke kleur licht. Deze zogeheten resonantiefrequentie is afhankelijk van de mate waarin de vezel wordt uitgerekt.

Daardoor kan zo’n Fibre Bragg Grating (FBG), aangebracht op de bewegende onderdelen in de chipmachine, gebruikt worden als maat voor de vervorming van de wafer.

Andreou testte een meetsysteem op basis van zo’n FBG-sensor in het lab. “In de praktijk zou ASML tientallen van zulke sensors nodig hebben, maar dat is geen probleem: ze zijn goedkoop te produceren en wegen bijna niets.”

Hij benadrukt dat de behaalde nauwkeurigheid van vijf nanometer per meter betekent dat in de sensor zelf - die een paar centimeter lang is - een vervorming van enkele tientallen picometers is te meten.

Hiervoor zijn geavanceerde stabilisatietechnieken nodig om ervoor te zorgen dat het gebruikte laserlicht exact de juiste frequentie heeft.

Om temperatuurschommelingen te compenseren, splitste Andreou het laserlicht dat voor de meting wordt gebruikt in twee componenten: “Voor elk van die componenten, of polarisatietoestanden, heeft de fiber een verschillende temperatuurafhankelijkheid van de resonantiefrequentie.”

Dat maakt het mogelijk om het effect van de temperatuur weg te strepen en heel nauwkeurig de vervorming te bepalen. Zelfs zo’n tien keer nauwkeuriger dan voorheen mogelijk was. << (Lydia Heida) (foto: ASML)

Reageren
Abonneer op onze nieuwsbrief

Mis ook dit niet...

Fluvius verbindt grootste Vlaamse industriële windpark

In de haven van Zeebrugge wordt momenteel de laatste hand gelegd aan de bouw van het ‘ICO Windpark’: het grootste on-shore windpark op één industriële site in Vlaanderen.

Eerste protonentherapie in UZ Leuven uitgevoerd

Protontherapie is een innovatieve vorm van radiotherapie die heel gericht een tumor bestraalt en zo het gezonde weefsel rondom minimaal beschadigt. De eerste behandelingen verliepen vlot.

10 actiepunten boosten innovatie- en groeipotentieel biotechsector

Tijdens “Agility, Belgian biotech’s booster” stelde bio.be/essenscia 10 actiepunten voor om de biotechsector in België te verankeren en haar internationale concurrentiekracht te versterken.

Cebeo verwerft Industrial Automation Distributor certificaat

Schneider Electric heeft begin september het Industrial Automation Distributor (IAD) certificaat overhandigd aan Cebeo, gespecialiseerde groothandel in elektrotechnisch materiaal.

Technologie om planten te verbeteren versneld ontwikkeld

Universiteit Utrecht test een nieuwe, snelle manier om nieuwe gewassen te ontwikkelen door een andere inzet van gentech, en tegen een fractie van de kosten van klassieke veredeling.

Agoria Solar Team wint Europese Solar Challenge 2020

De zonnewagen BluePoint reed, dankzij een snelle wagen en een sterke strategie, het hoogste aantal rondjes en kroonde zich zo tot Europees kampioen.

Betere bedrijfsvoering door industriële automatisering

Al jarenlang op zoek naar manieren om uw bedrijfsvoering te verbeteren? Door middel van industriële automatisering zijn grote voordelen te behalen. In dit artikel wordt dit uitgelegd.

Vlaamse Scriptieprijs zoekt sterke STEM-scripties

De Vlaamse Scriptieprijs, Eos en Agoria bekronen ieder jaar de sterkste thesissen van het afgelopen jaar met prijzen tot 2.500 euro. Neem ook deel en schrijf je thesis in voor 4 oktober.

Slimme batterijmodules tot 100 kW bij Schneider Electric

Schneider Electric breidt de Galaxy VS 3-phase Uninterruptible Power Supply (UPS) uit met slimme interne batterijmodules van 10 tot 100 kW. De Galaxy VS met interne batterijen is hiermee de UPS met de hoogste dichtheid. Dit maakt de unit perfect geschikt voor de unieke vereisten van edge computing en kritieke infrastructuren.

Partners