ENGINEERINGNET.BE - Het plaatsen van componenten ter grootte van een nanometer in microchips is alleen mogelijk met nauwkeurige fabricagetechnieken, zoals atomic layer deposition (ALD).

Om deze atoom-voor-atoom-opbouwtechniek te gebruiken voor het maken van apparaten op grotere schaal, zoals beeldschermen en zonnecellen, heeft ALD een ruimtelijke upgrade nodig, aldus TU/e-onderzoekers Bart Macco en Erwin Kessels.

ALD vindt plaats in een ruimte onder vacuümomstandigheden waarbij de atomen worden afgezet op een beginlaag of substraat. Dit substraat wordt blootgesteld aan chemische reactanten in een gas, en sommige reactanten hechten zich aan het substraat.

Ongebruikte reactanten en bijproducten worden vervolgens verwijderd voordat de volgende chemische reactant wordt geïntroduceerd en bovenop de laag eronder wordt afgezet.

Deze methode is echter te langzaam voor de productie van grote volumes van andere apparaten met grote oppervlakken zoals beeldschermen.

"Bij ruimtelijke ALD worden lagen veel sneller gecreëerd door het substraat door verschillende zones van de reactor te laten ‘vliegen’, waarbij elke zone verschillende gassen of reactanten bevat", aldus Macco. Het ‘vliegen’ van het substraat maakt snellere afzetting van lagen mogelijk, met behoud van de nauwkeurigheid.

Macco: "We willen ruimtelijke ALD gebruiken om een breder scala aan complexe materialen te deponeren voor nieuwe toepassingen. Dat kan gaan om het opbouwen van lagen op flexibele of poreuze substraten. Er moeten nog veel dingen worden opgelost, maar het is een spannende uitdaging.”

Veel Nederlandse bedrijven werken aan ruimtelijke ALD-apparatuur, zoals Levitech, SoLayTec, SALD, Smit Thermal Solutions, VDL-ETG, TNO en SALDtech. Andere stakeholders zijn ASM, Chipmetrics en J.A. Woollam.

Dankzij een subsidie van 700.000 euro van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek kunnen Macco en Kessels met deze bedrijven samenwerken en een hub voor ruimtelijke ALD-innovatie oprichten aan TU/e.

Dit project omvat onder meer de installatie van een ruimtelijk ALD-apparaat dat is ontwikkeld door het bedrijf SALD. Het instrument is een speciaal R&D-systeem dat gemakkelijk is aan te passen om de invloed van verschillende factoren op het ruimtelijke ALD-proces te bestuderen. << (Lydia Heida) (foto: TU Eindhoven)

Mis ook dit niet... Naams ziekenhuis verbetert energieprestaties met 15,5% Het Naams ziekenhuis CHR Sambre et Meuse heeft in samenwerking met ENGIE en RenoWatt werken uitgevoerd, die het energieverbruik van het ziekenhuis aanzienlijk reduceerden. SCK CEN en UGent onderzoeken wondgenezing met ‘Hyper­zwaarte­kracht­kuur’ In september zullen ‘gestresseerde en gewonde huidcellen’ een ‘hyper­zwaarte­kracht­kuur’ in de Large Diameter Centrifuge van ESA in het Nederlandse Noordwijk getest worden. Windparken profiteren van sterke stroming in lagere atmosfeer Uit onderzoek van UTwente blijkt dat krachtige luchtstromingen in de lagere atmosfeer, de zogenaamde ‘low-level jets’, de prestaties van windmolenparken kunnen verbeteren. VLIZ North Sea Award 2020 gewonnen door Camille Gaulier Camille Gaulier, PhD aan de VUB-onderzoeksgroep AMGC en Université de Lille, won deze award voor haar Innovatieve toolbox om metaalverontreiniging aan Belgische kust te meten. Lockheed Martin gunt Feronyl contract binnen het F-35 programma Feronyl sloot met vliegtuigbouwer Lockheed Martin een meerjarencontract voor O&O van hittebestendige materialen voor toepassingen in straalmotoren en hypersonische toestellen. Peter Leijnen: ”Puur techniek” - topingenieur Vorige kerst ving de innoverende elektromotorenbouwer Magnax uit Deinze 16 miljoen euro om te groeien in automotive. Wij spraken met Peter Leijnen (48), oprichter en CTO van Magnax. Vlaanderen op tweede plek in Europees innovatieonderzoek Het laatste Europese innovatieonderzoek toont dat de innovatiegraad in Vlaanderen voor 2016-2018 rond de 70% ligt. Daarmee behoort Vlaanderen tot de Europese top, enkel Estland doet beter. Kunstmatige intelligentie: nieuwer is niet altijd beter - opinie Wat triggert kopersverdriet? Sommigen voelen het al na enkele seconden na een impulsaankoop. We maakten het allemaal wel eens mee, maar dat maakt het er niet minder pijnlijk op. Automatiseer met één voordelige kickstart Heeft u weinig of geen ervaring? De SIMATIC S7-1200-starterkit is makkelijk, snel, compact en kostenefficiënt en bevat alle benodigde componenten om succesvol te automatiseren. Opheffing moratorium leidt voorlopig niet tot meer faillissementen Tijdens de maand februari 2021 gingen er 540 bedrijven failliet, een daling met 43% tegenover 2020. Januari en februari samengeteld toont 999 faillissementsuitspraken of 49,4% minder. Project: software robots om administratieve routinetaken over te nemen Het gebruik van databots, een toepassing van Robotic Process Automation (RPA), heeft het potentieel om automatisering snel en goedkoop toe te passen. VIL wil dit onderzoeken.

SUSiEtec voor holistische benadering digitale transformatie Kontron SUSiEtec introduceert holistische digitaliserings­oplossingen, waardoor machinebouwers, systeemintegratoren en fabrikanten hun digitale transformatie­doelstellingen sneller kunnen bereiken. Het portfolio biedt eenvoudige toegang tot nodige IoT/embedded computer­hardware, softwaretools en software­ontwikkelings­omgeving. >> Flexim lanceert nieuwe ultrasone flowmeters voor stoom Met de FLUXUS ST en FLUXUS ST-HT serie kan verzadigde stoom gemeten worden zonder inbreng van sensors in de leiding of het openen van de leiding. Ook het verjongen van de leidingdiameters is niet langer nodig om de stoomsnelheid te verhogen voor het toe te passen meetprincipe, want de flow kan al gemeten worden vanaf 1cm/s. Topjobs op Engineeringnet Onze Belgische jobboard 'Engineeringnet TopJobs' onderscheidt zich door specialisatie. We bieden u als recruiter een platform met uitsluitend technische bezoekers aan (knelpuntberoepen!). Dat is een doelgroep die via andere kanalen zéér moeilijk bereikbaar is.