Apparaten bouwen op atomaire schaal

Onderzoek & Wetenschap 11/02/2021 8:29:08

TU Eindhoven zet een ruimtelijke atomic layer deposition hub op, om deze technologie samen met onder meer Levitech, SoLayTec, SALD, VDL-ETG, ASM en Chipmetrics te verbeteren.

Lees hieronder verder   
Verwant

Magnetisch racebaangeheugen voor snelle gegevensopslag

Flanders Make ontwikkelt eerste zelfrijdende tractor (2) - artikel

Kunstmatige intelligentie: nieuwer is niet altijd beter - opinie

Vraag naar RFID-technologie vanuit betonindustrie in de lift

Geluidscamera’s met AI wereldwijd beschikbaar

Flanders Make ontwikkelt drones voor logistiek en landbouw

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

Belgian Offshore Days

Ostend Sea P’lace

van 17/03/2021 tot 18/03/2021

Ventilatie van gebouwen in de strijd tegen COVID-19

Live Webinar

dinsdag 23 maart 2021

Panel Building. Made Smarter

Online event

dinsdag 23 maart 2021

METAV Digital

online

van 23/03/2021 tot 26/03/2021

EEX-ATEX

Online cursus IE-net

van 30/03/2021 tot 31/03/2021

Hannover Messe

Hannover

van 12/04/2021 tot 16/04/2021

Keuze van de redactie

(5/3) Computersimulaties in 4D maken hartchirurgie veiliger

(3/3) Windparken profiteren van sterke stroming in lagere atmosfeer

(2/3) Lockheed Martin gunt Feronyl contract binnen het F-35 programma

(1/3) Start bouw allereerste Vlaamse opleidingscentrum voor farma en biotech

(25/2) Nieuw platform biedt correctere berekening CO2-voetafdruk

(25/2) ABO-Group neemt Frans sonisch boorbedrijf over

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Het plaatsen van componenten ter grootte van een nanometer in microchips is alleen mogelijk met nauwkeurige fabricagetechnieken, zoals atomic layer deposition (ALD).

Om deze atoom-voor-atoom-opbouwtechniek te gebruiken voor het maken van apparaten op grotere schaal, zoals beeldschermen en zonnecellen, heeft ALD een ruimtelijke upgrade nodig, aldus TU/e-onderzoekers Bart Macco en Erwin Kessels.

ALD vindt plaats in een ruimte onder vacuümomstandigheden waarbij de atomen worden afgezet op een beginlaag of substraat. Dit substraat wordt blootgesteld aan chemische reactanten in een gas, en sommige reactanten hechten zich aan het substraat.

Ongebruikte reactanten en bijproducten worden vervolgens verwijderd voordat de volgende chemische reactant wordt geïntroduceerd en bovenop de laag eronder wordt afgezet.

Deze methode is echter te langzaam voor de productie van grote volumes van andere apparaten met grote oppervlakken zoals beeldschermen.

"Bij ruimtelijke ALD worden lagen veel sneller gecreëerd door het substraat door verschillende zones van de reactor te laten ‘vliegen’, waarbij elke zone verschillende gassen of reactanten bevat", aldus Macco. Het ‘vliegen’ van het substraat maakt snellere afzetting van lagen mogelijk, met behoud van de nauwkeurigheid.

Macco: "We willen ruimtelijke ALD gebruiken om een breder scala aan complexe materialen te deponeren voor nieuwe toepassingen. Dat kan gaan om het opbouwen van lagen op flexibele of poreuze substraten. Er moeten nog veel dingen worden opgelost, maar het is een spannende uitdaging.”

Veel Nederlandse bedrijven werken aan ruimtelijke ALD-apparatuur, zoals Levitech, SoLayTec, SALD, Smit Thermal Solutions, VDL-ETG, TNO en SALDtech. Andere stakeholders zijn ASM, Chipmetrics en J.A. Woollam.

Dankzij een subsidie van 700.000 euro van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek kunnen Macco en Kessels met deze bedrijven samenwerken en een hub voor ruimtelijke ALD-innovatie oprichten aan TU/e.

Dit project omvat onder meer de installatie van een ruimtelijk ALD-apparaat dat is ontwikkeld door het bedrijf SALD. Het instrument is een speciaal R&D-systeem dat gemakkelijk is aan te passen om de invloed van verschillende factoren op het ruimtelijke ALD-proces te bestuderen. << (Lydia Heida) (foto: TU Eindhoven)

Reageren
Abonneer op onze nieuwsbrief

Mis ook dit niet...

Naams ziekenhuis verbetert energieprestaties met 15,5%

Het Naams ziekenhuis CHR Sambre et Meuse heeft in samenwerking met ENGIE en RenoWatt werken uitgevoerd, die het energieverbruik van het ziekenhuis aanzienlijk reduceerden.

SCK CEN en UGent onderzoeken wondgenezing met ‘Hyper­zwaarte­kracht­kuur’

In september zullen ‘gestresseerde en gewonde huidcellen’ een ‘hyper­zwaarte­kracht­kuur’ in de Large Diameter Centrifuge van ESA in het Nederlandse Noordwijk getest worden.

Windparken profiteren van sterke stroming in lagere atmosfeer

Uit onderzoek van UTwente blijkt dat krachtige luchtstromingen in de lagere atmosfeer, de zogenaamde ‘low-level jets’, de prestaties van windmolenparken kunnen verbeteren.

VLIZ North Sea Award 2020 gewonnen door Camille Gaulier

Camille Gaulier, PhD aan de VUB-onderzoeksgroep AMGC en Université de Lille, won deze award voor haar Innovatieve toolbox om metaalverontreiniging aan Belgische kust te meten.

Lockheed Martin gunt Feronyl contract binnen het F-35 programma

Feronyl sloot met vliegtuigbouwer Lockheed Martin een meerjarencontract voor O&O van hittebestendige materialen voor toepassingen in straalmotoren en hypersonische toestellen.

Peter Leijnen: ”Puur techniek” - topingenieur

Vorige kerst ving de innoverende elektromotorenbouwer Magnax uit Deinze 16 miljoen euro om te groeien in automotive. Wij spraken met Peter Leijnen (48), oprichter en CTO van Magnax.

Vlaanderen op tweede plek in Europees innovatieonderzoek

Het laatste Europese innovatieonderzoek toont dat de innovatiegraad in Vlaanderen voor 2016-2018 rond de 70% ligt. Daarmee behoort Vlaanderen tot de Europese top, enkel Estland doet beter.

Kunstmatige intelligentie: nieuwer is niet altijd beter - opinie

Wat triggert kopersverdriet? Sommigen voelen het al na enkele seconden na een impulsaankoop. We maakten het allemaal wel eens mee, maar dat maakt het er niet minder pijnlijk op.

SUSiEtec voor holistische benadering digitale transformatie

Kontron SUSiEtec introduceert holistische digitaliserings­oplossingen, waardoor machinebouwers, systeemintegratoren en fabrikanten hun digitale transformatie­doelstellingen sneller kunnen bereiken. Het portfolio biedt eenvoudige toegang tot nodige IoT/embedded computer­hardware, softwaretools en software­ontwikkelings­omgeving. >>

Partners