Apparaten bouwen op atomaire schaal

Onderzoek & Wetenschap 11/02/2021 8:29:08

TU Eindhoven zet een ruimtelijke atomic layer deposition hub op, om deze technologie samen met onder meer Levitech, SoLayTec, SALD, VDL-ETG, ASM en Chipmetrics te verbeteren.

Lees hieronder verder   
Verwant

Uitbouw internationale provider van total connectivity oplossingen

Tracering aardbeien Coöperatie Hoogstraten met visie en RFID

Privacy-vriendelijke data-analyse technologieën in ontwikkeling

Halfgeleider qubits schalen in twee dimensies

Zelfhelende TNO-software ingezet voor cyberbeveiliging

Europees miljoenenproject ‘inspireert’ vooruitgang in fotonica

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

The future of smart manufacturing with IIOT

Virtueel online event

donderdag 15 april 2021

Smart Electrical Grid & Heat Grid Buildings

Live Webinar

van 21/04/2021 tot 28/04/2021

CE-machinerichtlijn 2006-42-EG

Online cursus IE-net

van 27/04/2021 tot 6/05/2021

EPLAN Virtual Fair

Online

van 28/04/2021 tot 29/04/2021

Grand Paris Express

Live Webinar

dinsdag 4 mei 2021

Sensor+Test 2021

Online event

van 4/05/2021 tot 6/05/2021

Keuze van de redactie

(8/4) Eerste groene waterstoffabrieken North Sea Port in ontwerpfase

(7/4) Hugo Thienpont: ”Over fotonica en jong bloed” - topingenieur

(7/4) Elektronenmicroscopie maakt 20 keer snellere beeldvorming mogelijk

(6/4) UHasselt legt laatste hand aan diamantgebaseerde kwantummagnetometer

(1/4) Batterij krijgt hoge actieradius en snelle oplaadtijd

(31/3) Odysseusprogramma brengt 13 toponderzoekers naar Vlaanderen

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Het plaatsen van componenten ter grootte van een nanometer in microchips is alleen mogelijk met nauwkeurige fabricagetechnieken, zoals atomic layer deposition (ALD).

Om deze atoom-voor-atoom-opbouwtechniek te gebruiken voor het maken van apparaten op grotere schaal, zoals beeldschermen en zonnecellen, heeft ALD een ruimtelijke upgrade nodig, aldus TU/e-onderzoekers Bart Macco en Erwin Kessels.

ALD vindt plaats in een ruimte onder vacuümomstandigheden waarbij de atomen worden afgezet op een beginlaag of substraat. Dit substraat wordt blootgesteld aan chemische reactanten in een gas, en sommige reactanten hechten zich aan het substraat.

Ongebruikte reactanten en bijproducten worden vervolgens verwijderd voordat de volgende chemische reactant wordt geïntroduceerd en bovenop de laag eronder wordt afgezet.

Deze methode is echter te langzaam voor de productie van grote volumes van andere apparaten met grote oppervlakken zoals beeldschermen.

"Bij ruimtelijke ALD worden lagen veel sneller gecreëerd door het substraat door verschillende zones van de reactor te laten ‘vliegen’, waarbij elke zone verschillende gassen of reactanten bevat", aldus Macco. Het ‘vliegen’ van het substraat maakt snellere afzetting van lagen mogelijk, met behoud van de nauwkeurigheid.

Macco: "We willen ruimtelijke ALD gebruiken om een breder scala aan complexe materialen te deponeren voor nieuwe toepassingen. Dat kan gaan om het opbouwen van lagen op flexibele of poreuze substraten. Er moeten nog veel dingen worden opgelost, maar het is een spannende uitdaging.”

Veel Nederlandse bedrijven werken aan ruimtelijke ALD-apparatuur, zoals Levitech, SoLayTec, SALD, Smit Thermal Solutions, VDL-ETG, TNO en SALDtech. Andere stakeholders zijn ASM, Chipmetrics en J.A. Woollam.

Dankzij een subsidie van 700.000 euro van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek kunnen Macco en Kessels met deze bedrijven samenwerken en een hub voor ruimtelijke ALD-innovatie oprichten aan TU/e.

Dit project omvat onder meer de installatie van een ruimtelijk ALD-apparaat dat is ontwikkeld door het bedrijf SALD. Het instrument is een speciaal R&D-systeem dat gemakkelijk is aan te passen om de invloed van verschillende factoren op het ruimtelijke ALD-proces te bestuderen. << (Lydia Heida) (foto: TU Eindhoven)

Reageren
Abonneer op onze nieuwsbrief

Mis ook dit niet...

Nieuw decentraal aandrijfsysteem ontworpen voor transportbandtoepassingen

Met de Sinamics G115D presenteert Siemens een nieuw, compact en krachtig aandrijfsysteem, dat specifiek ontworpen werd voor horizontale transport­band­toepas­singen.

Belgische milieuprestaties krijgen compliment van OESO

De OESO doet in haar rapport Environmental Performance Review voor België aanbevelingen voor het afval-, materialen- en bodembeheer, en de transitie naar een circulaire economie.

SusPhos proces leidt uiteindelijk naar volledige circulariteit

Onderzoekers van de UvA hebben een belangrijke stap gezet op weg naar volledige circulariteit van fosfaat­recycling volgens het SusPhos proces, waarbij ook magnesium is terug te winnen.

Elektrische wagens met grote autonomie - artikel

Engineeringbedrijf Exypnos uit Kruibeke ontwikkelt kant-en-klare industriële installaties op maat voor de framing en verlijming van componenten met gegoten polyurethaan.

Tracering aardbeien Coöperatie Hoogstraten met visie en RFID

Coöperatie Hoogstraten hecht veel belang aan de traceerbaarheid van haar aardbeien doorheen de keten, maar met een 200-tal telers is dit proces logistiek gezien niet eenvoudig te realiseren.

Privacy-vriendelijke data-analyse technologieën in ontwikkeling

TNO roept overheidspartijen, bedrijven, commerciële technologiepartijen en kennisinstellingen op om gezamenlijk hiervoor Multi-Party Computation en Federated Learning in te zetten.

Elia incubator stimuleert digitale innovatie

The Nest, de incubator van Elia Group, maakt het mogelijk voor medewerkers om digitale ideeën snel te ontwikkelen, om er prototypes van te maken en ze te testen in een sandboxomgeving.

Suez investeert 10 miljoen euro in nieuwe duurzame sorteerlijn

Om te voldoen aan de nieuwe milieu­regle­men­tering van de Vlaamse regering installeert afval­verwer­kend bedrijf Suez in de Gentse haven een nieuwe sorteerlijn, die 35% meer afval zal uitsorteren.

ABB breidt YuMi-cobotportfolio uit

ABB heeft haar portfolio van collaboratieve robots (cobots) uitgebreid met twee nieuwe cobotfamilies: GoFa en SWIFTI met een intuïtief ontwerp. Als aanvulling YuMi en Single Arm YuMi bieden de nieuwe cobots een hogere payload en hogere snelheden. ABB speelt met deze toename in kracht en snelheid in op vragen vanuit de markt. >>

Partners