Cleanroom voor semicon bij automatiseringsspecialist SMC

SMC, een grote leverancier van pneumatische componenten, opende onlangs in Eindhoven een cleanroom voor het assembleren van componenten voor de halfgeleiderindustrie.

Trefwoorden: #cleanroom, #halfgeleider, #halfgeleiderindustrie, #onderdelen, #semicon, #SMC Pneumatics

Lees verder

Techniek

( Foto: LDS )

ENGINEERINGNET.BE - “Dit is in de praktijk een ISO 5 cleanroom maar we hadden hem gespecificeerd op ISO 6”, legde Dennis Bosman, manager project engineering uit. “We opereren niet onmiddellijk in de meest kritische omgevingen -de productie van Grade 4 assemblies- maar kozen bijvoorbeeld wel voor lucht met een vochtigheidsgehalte met een dauwpunt van -40°C.”

SMC stond zelf in voor de XCDA-luchtverzorging (Extreme Clean Dry Air) die vereist is in de semiconindustrie. De set komt met luchtdroger en verschillende filters die partikels tot 0,01 micron tegenhouden. Bij het ontwerp kon SMC rekenen op het expertadvies van o.a. ASML. Toeleverancier Interflow (uit Wieringerwerf) leverde de cleanroom in drie maanden tijd en valideerde die.

De cleanroom, waar binnenkort geassembleerd wordt, meet 90 m² en is 3 m hoog. De totale voetafdruk, inclusief sas voor medewerkers en goederen en de technische ruimte, is 125 m². Bijzonder is de keuze voor een gekantelde, unidirectionele horizontale luchtflow in plaats van een variant met een flow van boven naar beneden.

In de achterwand steken 14 filterfan units -met een bereik van 40W tot 200W- die zo’n 20.000 liter lucht per uur verzetten. Daarbij zorgen ze nu voor een licht briesje van 0,45 m/sec. De luchtstroom wordt verder geoptimaliseerd. Zo wordt nog gezocht naar een nachtstand, bijvoorbeeld.

De cleanroom recycleert zijn schone, geklimatiseerde lucht. Aan de saswanden wordt die opgevangen en via de luchtbehandelingskast boven de zoldering teruggevoerd naar de achterwand. Een kwart van de lucht wordt daarbij geconditionneerd. Het paar procent dat lekt, wordt vervangen. Verse lucht wordt aangezogen uit de aanliggende magazijnruimte. Om de 24 uur is er een volledige wissel.

In de zoldering lopen rijen vlakke LED-plaatverlichtingselementen. Afwisselend wit en amber dat bij bepaalde operaties zal aangezet worden. Voor de communicatie met buiten zijn er ramen -met verduisteringsgordijnen- en een intercom. Rond de cleanroom, richting magazijn, is een stevig hek in de vloer gebout. Die moet beschadiging voorkomen door intralogistieke toestellen.

“De eerste productie-orders verwachten we binnen enkele weken”, zegt Bart Tuijnman, directeur van SMC. De vijf assemblagemedewerkers zijn ondertussen getraind om ook in de cleanroom te kunnen werken. De assemblageafdeling bouwt onder meer actuatoren, ventieleilanden, luchtverzorgingssets en besturingskasten – modules die de klant zo in zijn machine kan zetten.

“Met ons multifunctioneel technologiecentrum zitten we hier in het Silicon Valley van Europa. De grote uitdaging bestaat er in aan te sluiten op de ontwikkelingen bij klanten in deze regio. Dan moet je wel investeren”, zegt Tuijnman.

Hun reinheidseisen worden steeds scherper. Zo wil SMC bovendien een stapje opschuiven in de waardeketen, naar leverancier van systemen en assemblies voor machinebouwers in de halfgeleiderindustrie.

“Van een Tier 4 naar een Tier 3 kan je wel zeggen.”


ACHTERGROND
SMC Pneumatics betrok 2,5 jaar geleden zijn vestiging in Eindhoven. Het houdt er een specifieke voorraad componenten voor de Benelux-markt, een magazijn voor eigen shop orders -voor het bouwen van assemblages- en voor zijn Chiller Repair Center.

Naast de kantoren is er een trainingsruimte voor eigen medewerkers en klanten. De vestiging telt vier logistieke medewerkers, vijf in de assemblage en twee ingenieurs die chillers onderhouden/herstellen. In Nederland telt SMC 80 medewerkers waarvan ongeveer de helft in klantencontact.

Het bedrijf heeft in Antwerpen een Europees distributiemagazijn en in Wommelgem worden verkoop en trainingen verzorgd. Ze zijn met hun componenten niet alleen actief in de halfgeleiderindustrie, maar ook bij machinebouwers en eindgebruikers in automotive, packaging, medical, FMCG, glastuinbouw, de agrarische en andere sectoren.