Des amortisseurs miniatures intègrent la production de semi-conducteurs

Face aux avancées de la microélectronique, les exigences imposées aux systèmes de manutention chargés du transport propre et sûr des plaquettes sont toujours plus élevées. 10 amortisseurs miniatures d’ACE Stoßdämpfer protègent tous les axes linéaires.

Mots clés: #ACE, #amortisseur, #semi-conducteur

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( Photo: ACE Stoßdämpfer )

ENGINEERINGNET.BE - La photolithographie est une technologie clé dans la fabrication des composants microélectroniques et circuits de commutation, ainsi que dans la production des microsystèmes.

La demande pour les microprocesseurs et puces mémoires étant très forte et la diminution du risque de chute étant primordiale dans la production des plaquettes, bon nombre de fabricants de puces travaillent avec leurs propres fournisseurs de systèmes de manutention.

Ces derniers équipent leurs systèmes de composants standard de haute qualité et éprouvés pour les entraînements, les contrôles de vitesse et les axes linéaires. Ces axes sont désormais protégés de manière optimale par dix amortisseurs miniatures d’ACE.

Conception, simulation, banc d’essai: de l’amortisseur standard au modèle sur mesure  
Le fabricant imposait que les axes X et Y et l’axe central ne soient exposés qu’aux forces maximales admissibles en cas de collision, afin d’être sûr à 100 % que le système n’est pas endommagé.

Les trois axes devaient donc être équipés ici de trois types d’amortisseurs miniatures différents de la gamme d’ACE. Pour l’axe Y, quatre amortisseurs miniatures à filetage M20 ont été utilisés; pour l’axe X, les quatre mêmes amortisseurs miniatures, mais avec un filetage M18 ont été utilisés; et pour l’axe central, ce sont deux amortisseurs miniatures avec un filetage M25.

Dans une deuxième phase, le département R&D d’ACE a créé, sur la base des informations de force de réaction maximale en cas de collision, le schéma de perçage correspondant pour les types d’amortisseurs miniatures adaptés, avant de le livrer au client à l’issue de tests approfondis.

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