ENGINEERINGNET.NL – "Naast onze bestaande samenwerking met universiteiten en onderzoeksinstituten ziet ASML de noodzaak voor fundamenteel lange-termijnonderzoek in nanolithografie, dat zich niet richt op het maken van een concreet product, maar op het verkennen van technologische mogelijkheden," aldus ir. Martin van den Brink, Executive Vice President en Chief Product and Technology Officer bij ASML.
De partners in het project zijn ASML, de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), de Universiteit van Amsterdam (UvA), de Vrije Universiteit Amsterdam (VU) en de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO).
Het onderzoeksprogramma zal zich in eerste instantie richten op de fysische en chemische processen die cruciaal zijn voor toekomstige uitbreiding van Extreem Ultraviolet (EUV) lithografie. Dit is een toonaangevende technologie voor het produceren van computerchips. In de beginfase zal het instituut zich richten op de fysica van EUV-licht, infraroodlaserfysica, (oppervlakte)fysica van clusters en radicalen en nanofotochemie.
Het in het derde kwartaal van 2013 van start gaan onder leiding van het FOM-instituut AMOLF. Tegen 2015 moet het een onafhankelijk instituut geworden zijn.
'De samenwerking tussen ondernemers en onderzoekers is van cruciaal belang om aan de top te blijven,' zegt Henk Kamp, Minister van Economische Zaken. 'Met dit instituut kan ASML de groeiende competitie aan en zijn wereldwijde marktpositie verder versterken.'
Het nieuwe instituut gaat naar verluidt van start nadat de contractonderhandelingen tussen de partners zijn afgerond. Eenmaal volledig operationeel, zal het ongeveer honderd hooggekwalificeerde wetenschappers en ondersteunende werknemers in dienst hebben.
BUDGET
ASML zal meer dan een derde van het jaarlijkse budget van het instituut bijdragen en investeert hiermee circa 30 miljoen euro over een periode van 10 jaar. FOM en NWO zullen 25 miljoen euro bijdragen, verdeeld over 10 jaar, en UvA/VU dragen 12,5 miljoen euro bij. De Gemeente Amsterdam heeft 5 miljoen euro toegezegd als opstartfinanciering.
Het ligt in de lijn der verwachting dat het instituut baat zal hebben bij de stimuleringsmaatregelen van de overheid voor privaat-publieke samenwerking (TKI-toeslag) en dat het instituut nog 25 miljoen euro kan verwerven via andere financieringsinstrumenten, zoals Europese programma’s. Alles bij elkaar gaat het om een bedrag van 100 miljoen euro voor 10 jaar.
