Apparaten bouwen op atomaire schaal

Onderzoek & Wetenschap 11/02/2021 8:29:08

TU Eindhoven zet een ruimtelijke atomic layer deposition hub op, om deze technologie samen met onder meer Levitech, SoLayTec, SALD, VDL-ETG, ASM en Chipmetrics te verbeteren.

Lees hieronder verder   
Verwant

Traceer items op een efficiënte manier met RFID-labels

Digitaal transformatieproject weert papier op Roltex fabrieksvloer

Vorig jaar werd 42% van de bedrijven door cyberaanval getroffen

Rittal introduceert nieuwe patchkast TX CableNet

Licht sturen naar plekken waar het niet kan bestaan

VUB- project ontwikkelt AI-oplossingen voor maatschappelijke vraagstukken

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

Onderhandelen met impact

Online

van 19/05/2021 tot 26/05/2021

Leiding geven op afstand

online via Zoom

van 20/05/2021 tot 25/05/2021

Intellectual property for growing businesses

EP&C webinar

donderdag 20 mei 2021

Functionele veiligheid volgens machinerichtlijn

Online cursus IE-net

van 1/06/2021 tot 10/06/2021

Patent Enforcement in Asia

3 Live webinars

van 1/06/2021 tot 15/06/2021

Jouw spreekstem

Online

van 2/06/2021 tot 23/06/2021

Keuze van de redactie

(11/5) 3D-printen als basis voor nieuwe diagnostische testen

(10/5) Borealis en Qpinch starten revolutionaire warmte­recuperatie-eenheid op

(6/5) AI-platform leidt tot sneller en beter voorraadbeheer

(5/5) imec.istart Fund krijgt stevige kapitaalinjectie

(4/5) Primeur: Elektrische terminaltrekker tankt waterstof uit mobiel tankstation

(3/5) Gerrit Jan Schaeffer volgt Ronnie Belmans op bij EngergyVille

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Het plaatsen van componenten ter grootte van een nanometer in microchips is alleen mogelijk met nauwkeurige fabricagetechnieken, zoals atomic layer deposition (ALD).

Om deze atoom-voor-atoom-opbouwtechniek te gebruiken voor het maken van apparaten op grotere schaal, zoals beeldschermen en zonnecellen, heeft ALD een ruimtelijke upgrade nodig, aldus TU/e-onderzoekers Bart Macco en Erwin Kessels.

ALD vindt plaats in een ruimte onder vacuümomstandigheden waarbij de atomen worden afgezet op een beginlaag of substraat. Dit substraat wordt blootgesteld aan chemische reactanten in een gas, en sommige reactanten hechten zich aan het substraat.

Ongebruikte reactanten en bijproducten worden vervolgens verwijderd voordat de volgende chemische reactant wordt geïntroduceerd en bovenop de laag eronder wordt afgezet.

Deze methode is echter te langzaam voor de productie van grote volumes van andere apparaten met grote oppervlakken zoals beeldschermen.

"Bij ruimtelijke ALD worden lagen veel sneller gecreëerd door het substraat door verschillende zones van de reactor te laten ‘vliegen’, waarbij elke zone verschillende gassen of reactanten bevat", aldus Macco. Het ‘vliegen’ van het substraat maakt snellere afzetting van lagen mogelijk, met behoud van de nauwkeurigheid.

Macco: "We willen ruimtelijke ALD gebruiken om een breder scala aan complexe materialen te deponeren voor nieuwe toepassingen. Dat kan gaan om het opbouwen van lagen op flexibele of poreuze substraten. Er moeten nog veel dingen worden opgelost, maar het is een spannende uitdaging.”

Veel Nederlandse bedrijven werken aan ruimtelijke ALD-apparatuur, zoals Levitech, SoLayTec, SALD, Smit Thermal Solutions, VDL-ETG, TNO en SALDtech. Andere stakeholders zijn ASM, Chipmetrics en J.A. Woollam.

Dankzij een subsidie van 700.000 euro van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek kunnen Macco en Kessels met deze bedrijven samenwerken en een hub voor ruimtelijke ALD-innovatie oprichten aan TU/e.

Dit project omvat onder meer de installatie van een ruimtelijk ALD-apparaat dat is ontwikkeld door het bedrijf SALD. Het instrument is een speciaal R&D-systeem dat gemakkelijk is aan te passen om de invloed van verschillende factoren op het ruimtelijke ALD-proces te bestuderen. << (Lydia Heida) (foto: TU Eindhoven)

Reageren
Abonneer op onze nieuwsbrief

Mis ook dit niet...

Traceer items op een efficiënte manier met RFID-labels

Brady Corporation kan de optimale RFID-labelingoplossing ontwerpen voor het traceren van items en voorraadbeheer, geschikt voor elk oppervlak, o.a. geselecteerde antennes, chips, ...

Igus toont innovaties in virtuele tentoonstelling

Terwijl iedereen telewerkt, versnelde igus het tempo van zijn productinnovatie. Het motionbedrijf kon dit voorjaar uitpakken met 168 innovaties in kunststof.

Duitse staalbedrijven en Haven Rotterdam onderzoeken opzet waterstofketens

HKM, thyssenkrupp Steel en Havenbedrijf Rotterdam gaan gezamenlijk de mogelijkheid onderzoeken om internationale toeleveringsketens voor waterstof op te zetten.

Michaël Gillon laureaat van de Francqui-prijs 2021

Op 9 juni ontvangt astrofysicus Michaël Gillon de prestigieuze Francqui-prijs uit de handen van de koning voor zijn opzienbarend werk rond exoplaneten, planeten buiten ons zonnestelsel.

Digitaal transformatieproject weert papier op Roltex fabrieksvloer

Roltex, producent van dienbladen, kreeg steeds meer projecten met kleinere aantallen binnen. Door het extra papierwerk, de bijbehorende administratie, ..., daalde de productiviteit.

Cobotracks behaalt Techman certificatie

Hierdoor is het Genkse Cobotracks, zusterbedrijf van Vansichen Linear Technology, de eerste erkende fabrikant van tracks voor de internationale cobotproducent en bracht een zevende as uit.

Cruciaal deel van de LHCb-detector te CERN zit op zijn plaats

Vier van de eerste zes frames met lichtgevoelige SciFi-detectoren zitten nu op hun plaats in het LHCb-experiment op CERN. Meer onderhoud moet nog plaatsvinden. Herstart vindt plaats in 2022.

Incubator BlueChem voor duurzame chemie bestaat 1 jaar

BlueChem, gelegen op Blue Gate Antwerp, ondersteunt start-ups en scale-ups om hun innovaties voor de duurzame chemie van de toekomst te laten doorgroeien tot industriële schaal.

igus is nieuw lid van Profibus Nutzerorganisation

Profinet is 's werelds toonaangevende communicatie-oplossing op Ethernetbasis voor industriële automatisering (zelfs grote datavolumes worden snel en veilig overgedragen). Om het onderzoek naar de Profinet technologie in bewegende toepassingen te bevorderen is igus nu toegetreden tot de Profibus Nutzerorganisation e.V. als kabelspecialist.

Partners