ENGINEERINGNET -- Mapper Lithography, een spin-off van de Nederlandse TU Delft, werkt aan een technologie zonder die hoge aanloopkosten. En met succes: het eerste prototype draait sinds vorig jaar bij een klant en vandaag kondigde Mapper een nieuwe investeringsronde van 80 miljoen euro aan.
CEO Bert Jan Kampherbeek ziet de nieuwe investeringsronde als een grote stap vooruit: “De helft komt uit het Russische investeringsfonds RUSNANO, dat hiermee een aandeelhouder van ons bedrijf wordt.
Onderdeel van de deal is dat we in Rusland een productielijn gaan opzetten voor de lenzen die we voor de machines nodig hebben. De andere helft van de nieuwe ronde komt van onder meer de bestaande investeerders en een deel via innovatiekredieten van de Nederlandse overheid.”
Mapper is een spin-off van de TU Delft, opgezet door de Delftse natuurkunde hoogleraar Pieter Kruit en twee van de huidige directeuren, Bert Jan Kampherbeek en Marco Wieland, die destijds hun afstudeerwerk bij de faculteit Technische Natuurkunde deden onder begeleiding van Prof. Kruit. Bij MAPPER, gevestigd op het Delftechpark vlak bij de TU Delft, werken nu zo’n 200 mensen.
Mapper maakt chips zonder masker, door ze direct te ‘schrijven’ met een technologie waarin duizenden elektronenbundels parallel aan elkaar werken.
Op dit moment heeft Mapper twee experimentele machines draaien bij klanten, waarmee patronen geschreven worden met afmetingen van 22 nanometer, voldoende klein voor de chipgeneraties van de toekomst, maar nog op onvoldoende snelheid.
Met de nieuwe investeringsronde denkt MAPPER ook een concurrerende productiesnelheid te kunnen halen: “Het doel is een machine te maken die met 13.260 bundels werkt en daarmee 10 wafers per uur vol kan schrijven.
Tot nu toe werden alle lens elementen voor de prototypes gemaakt in de cleanroom van DIMES op de TU Delft, waar MAPPER een deel van de ruimte huurt. De productie van die elementen (voor een capaciteit van 20 machines per jaar) gaat nu naar Rusland. De R&D voor nieuwe elementen blijft in Delft.
(GL)
